桌面式扫描电子显微镜

1、仪器设备基本信息

型号：Phenom ProX

生产厂家：荷兰复纳（飞纳）

购进日期：2014.5

数量：1 台
设备单价：80万元

2、仪器设备主要技术指标

放大倍率：光学放大 20-120倍，电子放大不小于 100,000倍；

背散射电子探测器分辨率： 优于17 nm；

图像观测导航界面：光学导航界面与电子导航，与成像界面在同一屏幕上；

观察模式：全面模式(形貌和成份)、形貌模式A（3D）、形貌模式B（3D）。

3、仪器设备主要功能

微纳结构观察，材料显微组织观察，显微缺陷观察分析，元素成分分析，比传统SEM更快捷。