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镜头式原子力显微镜

主要设备 2014-12-22 15:25 已被浏览 4223

 镜头式原子力显微镜 

 

1、仪器设备基本信息

型号:LENS-AFM

生产厂家:瑞士NanoSurf/苏州海斯兹

购进日期:2014.5

数量:
设备单价:40万元

 

2、仪器设备主要技术指标

扫描范围不小于70μm

扫描精度<0.4 nm

XY 方向精度:<0.6%

Z项扫描范围不小于14 µm

Z方向噪音(空气中接触模式)<0.4 nmmax 0.55 nm

Z方向噪音(空气中动态力模式)<0.3 nmmax 0.55 nm

AFM测量重定位精度: ±10 µm(包括探针更换,扫描头的重置和趋近)

 

3、仪器设备主要功能

纳米精度微纳结构、表面形貌观察

 

 

 

 

 

 

 

 

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