X射线光电子能谱仪
主要设备 2015-04-18 20:18 已被浏览 3384 次
X射线光电子能谱仪
1、仪器设备基本信息
型号：AMICUS
生产厂家：日本岛津
数量：1 台
设备单价： 2574000元
2、仪器设备主要技术指标
（1）X射线源：Mg/Al Kα双阳极非单色化X射线源，可实现高灵敏度大面积XPS分析
（2）最佳能量分辨率优于0.8eV（Mo3d5/2）
（3）常规分析能量分辨和灵敏度高达1.15Ev@700kcp(Ag3d5/2)
（4）到达真空度5×10-6Pa以下、
（5）最大300W的大功率上照射X射线源，无阴影的XPS分析
（6）专利的锥形块体式阳极靶，抗污染能力极强
3、仪器设备主要功能
光电子能谱是研究材料表面和界面电子及原子结构的最重要手段之一，可提供物质表面几个原子层的元素定性、定量信息和化学状态信息；可对非均相覆盖层（如薄膜）进行深度分布分析，了解元素随深度分布的情况；可对元素及其化学态进行成像，给出不同化学态的不同元素在表面的分布图像；测定操作简单，可自动分析多种样品，适于质量管理分析与研究开发。广泛应用于固体物理学、基础化学、催化科学、腐蚀科学、材料科学、微电子技术及薄膜研究。
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